반도체 산업에서는 압축공기의 습도에 대해 매우 엄격한 기준을 요구하며, 절대적으로 고습 환경이 존재해서는 안 됩니다. 수분은 웨이퍼의 부식, 미세 입자 오염 및 장비 고장을 유발하여 제품 수율에 심각한 영향을 미칩니다. 일반적으로 이 산업에서는 압축공기의 압력노점이 –40℃, 심지어 –70℃…
웨이퍼 제조
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