본고에서는 ‘–7~–9기압’의 물리적 의미를 해석하고, 산업 현장에서 흔히 사용되는 –0.7~–0.9MPa 게이지 압력의 부압 환경과 연구 분야의 10⁻⁷~10⁻⁹기압에 이르는 고진공 환경을 각각 대상으로 하여, 회전식 스크류 펌프, 루츠 펌프, 분자 펌프 및 응축 펌프 등 진공 장비의 작동 원리와…
산업용 진공
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