반도체 공장에 적합한 무급유 공기압축 시스템의 요구사항
반도체 제조는 압축공기의 청정도에 대해 매우 엄격한 기준을 요구하며, 유분이 함유된 미세 입자는 웨이퍼 생산라인을 오염시킬 수 있습니다. 무급유 스크류 공기압축기는 완전 무급유 윤활 설계를 채택하여 클린룸의 핵심 공기 공급 장비로 자리매김하고 있습니다. 난퉁 지역에서는 이러한 장비가 ISO 8573-1 Class 0 표준을 엄격히 충족하여 배출되는 공기에 유분이 전혀 포함되지 않도록 보장해야 합니다.
공기압축기 시운전의 핵심 절차
- 공기 경로 및 냉각 시스템의 압력·온도 파라미터 보정
- 본체 동기 기어의 위상과 로터 간극 검사
- 건조기, 필터 및 공기압축기의 연동 제어 논리 검증
- 클린 파이프라인의 누설률 시험（≤0.1% /h）
주요 고장 유형 및 정비 요령
운전 중 배기 온도가 비정상적으로 상승하거나 압력 변동이 심해지고 노점이 기준치를 초과하는 경우, 흡입 필터 막힘, 냉각 팬 성능 저하, 정밀 베어링 마모, 제어 시스템 센서의 드리프트 등을 중점적으로 점검해야 합니다. 정비 작업은 반드시 클린 환경에서 수행되어야 하며, 모든 밀봉 부품과 필터 카트리지는 클린 등급 기준을 충족하여 2차 오염을 방지해야 합니다.
현지화된 서비스 지원
난퉁 및 인근 지역에는 반도체 생산라인이 밀집되어 있어 신속한 현장 시운전과 정비 역량이 매우 중요합니다. 진동, 온도, 전류 데이터의 추세 분석을 통해 잠재적 고장 위험을 사전에 파악하고, 생산라인의 안정적이고 연속적인 공기 공급을 보장하기 위해 정기적인 상태 모니터링 체제를 구축할 것을 권장합니다.